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RT150AU這款同類最佳的超精密旋轉(zhuǎn)平臺，具有超低誤差運(yùn)動（低于20 nm）和世界一流的運(yùn)動性能，臺面直徑150mm，負(fù)載可達(dá)72.6Kg。無與倫比的設(shè)計(jì)融合了無與倫比的精度和準(zhǔn)確性。如慣性導(dǎo)航、圓度測量系統(tǒng)、微觀和納米層析成像、超精密制造、半導(dǎo)體行業(yè)、醫(yī)療和研究設(shè)備等。

應(yīng)用領(lǐng)域：
?    計(jì)算機(jī)斷層掃描
?    X-射線
?    超精密加工
?    激光加工
?    光學(xué)檢查
?    半導(dǎo)體應(yīng)用
?    醫(yī)療行業(yè)的測試系統(tǒng)
?    用于尺寸測量系統(tǒng)的運(yùn)動軸
?    慣性導(dǎo)航
?    精密重力測量

產(chǎn)品規(guī)格

Rotary Stage RT150AU
Max. axial load 最大軸負(fù)載	726 N
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載	264 N
Axial stiffness 軸剛性	242 N/μm
Radial stiffness 側(cè)向剛性	88 N/μm
Tilt stiffness 搖擺剛性	204 Nm/mrad
Radial error motion 端跳誤差	< 20 nm LSC
Axial error motion 軸誤差	< 20 nm LSC
Resolution分辨率	<0.1arcsec，取決于細(xì)分比（4× ~ 20000×）
Repeatability重復(fù)精度	<0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗氣量	< 20 Nl/min
Total mass 重量	15,2 kg
Encoder 編碼器	23600 periods
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩	0,5 Nm
Peak torque 峰值扭矩	1,5 Nm
Max. speed 最大速度	200 rpm
Angular accuracy 角精度	6,9 arcsec
Material 材料	stainless steel

運(yùn)動控制
該旋轉(zhuǎn)臺可配備運(yùn)動驅(qū)動器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán)，自動歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外，圖形用戶界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。