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武漢珺瑜測控技術(shù)有限公司
真空直線位移臺
? 產(chǎn)地：荷蘭
? 行程：350mm
? 直線度：±3um（更高要求可定制）
? 重復(fù)定位精度：±0.1um
? 分辨率：0.05um
? 最大速度：350mm/s
? 最大負載：50kg
? 真空兼容
? 位置反饋：增量式絕對光柵
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? 產(chǎn)地：荷蘭
? 行程：350mm
? 直線度：±3um（更高要求可定制）
? 重復(fù)定位精度：±0.1um
? 分辨率：0.05um
? 最大速度：350mm/s
? 最大負載：50kg
? 真空兼容
? 位置反饋：增量式絕對光柵
真空線性平臺 （VLS） 是一款長行程線性真空位移平臺，行程為 350 mm，采用緊湊堅固的封裝。柔形滑塊的實施與定義的預(yù)緊力相結(jié)合具有許多好處，例如在其整個生命周期內(nèi)始終如一的高重復(fù)性、最小的驅(qū)動摩擦和高分辨率。VLS 配備直接驅(qū)動電機和編碼器反饋，可在真空環(huán)境中以高精度到達所需位置。
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