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該平臺是一個專用于步進和掃描應(yīng)用的混合平面機械/空氣軸承平臺。它是一個在 X、Y、Z 和 Theta 方向上移動的 6 軸平臺。整個行程中的動態(tài)平坦度以及雙向可重復(fù)性是關(guān)鍵參數(shù)。該平臺目前用于：

• 晶圓工藝控制應(yīng)用，如臨界尺寸和薄膜計量。

• 晶圓劃線

• 晶圓激光熱退火

它還可用于生產(chǎn)線后端光刻機（掩模對準器）和某些晶圓切割應(yīng)用。

該平臺具有以下特點：

• 空氣軸承給出的運動平坦度

• 在θ中無限旋轉(zhuǎn)

• 雙Z集成：用于裝載/卸載的粗行程和用于焦點調(diào)整的精細行程

• Z軸重力補償器

• 可以通過稍微移動 Y1 和 Y2 電機來完成偏航校正

• 可與主動隔離系統(tǒng)進一步集成

• X 和 Y 中的行程可以延長，但對性能有一些限制

主要規(guī)格