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納米步進執(zhí)行器（NSAU）是完全密封的線性執(zhí)行器，專為在超高真空（UHV）或UItra清潔環(huán)境中進行高精度定位而開發(fā)。結合了高質量降低和滾珠絲杠的步進電機可提供無反沖的納米分辨率和高負載能力。電氣限位開關和電動機溫度感應器是標準集成的，并且即使在斷電之后，絕對編碼器也可以為用戶提供高分辨率的位置反饋和絕對位置信息。